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勻膠旋涂儀

    勻膠旋涂儀CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。勻膠旋涂儀廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

    更新時間:2024-01-17 09:49:23
  1. 詳細(xì)信息

勻膠旋涂儀產(chǎn)品特點

采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長,保證勻膠的均一性。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段,z100個階段。

內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

多重安全保護:

電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,保證實驗人員安全。

樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風(fēng)險。

一機兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計,取放樣品方便。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

上下雙腔體設(shè)計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置

可選氮氣吹干、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供多的操作便利性。

適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

 

勻膠旋涂儀技術(shù)參數(shù)

型號

轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

勻膠時間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000秒

圓片Φ5-Φ100,方片z大100x100

310x260x250


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